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주기사명: (연구자료)마스크제작공정에서 부식후 감광수지밑부분에 있는 크롬도형들의 선폭측정에 대하여

저자: 김교윤

서명: 정보과학

권호: 주체93(2004)년 6호(루계12호)

발행처: 과학기술출판사

발행일자: 20041210

페이지: 30-33

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